RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Математическое моделирование // Архив

Матем. моделирование, 2022, том 34, номер 2, страницы 58–70 (Mi mm4354)

Термомеханические эффекты радиационного происхождения в изделиях микроэлектроники

Ю. А. Волковa, М. Ю. Выростковb, М. Б. Марковa, И. А. Таракановa

a Федеральное государственное учреждение «Федеральный исследовательский центр Институт прикладной математики имени М.В. Келдыша Российской академии наук»
b Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Национальный исследовательский университет «МЭИ»

Аннотация: Представлена математическая модель термомеханического воздействия проникающего излучения на изделие микроэлектроники. Модель основана на уравнениях термоупругости, которые являются следствием квантовых кинетических уравнений для фононов. Перенос тепла описан законом сохранения энергии и уравнением Каттанео, которое учитывает конечность скорости распространение тепла. Колебания решетки рассмотрены в приближении линейной теории упругости. В целом модель определяет распределение температуры, потока энергии, деформации и напряжения. Разработаны разностные схемы для решения уравнений модели. Эффективность разработанной модели проверена путем решения задачи о термоударе.

Ключевые слова: проникающее излучение, термоупругость, фононы, теплопроводность, разностная схема, тепловой удар.

Поступила в редакцию: 16.09.2021
Исправленный вариант: 16.09.2021
Принята в печать: 08.11.2021

DOI: 10.20948/mm-2022-02-05



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024