Линейные измерения в растровой электронной микроскопии на основе методов морфологического анализа изображений

Предложен новый подход к решению задачи поиска и определения размеров объекта известной формы на видеосигнале РЭМ и других микрозондовых приборов, основанный на морфологическом анализе изображений. Проиллюстрирована эффективность применения предложенного метода в электронной литографии.