Аннотация:
Описана методика моделирования движения высокоэнергетичных электронных потоков внутри технологических устройств, основанная на непосредственном решении системы уравнений Власова–Максвелла на фиксированной сетке в фазовом пространстве. Предложена иерархия моделей – 1D, 1,5D и 2D, для которых построены и исследованы консервативные проекционно-сеточные схемы. Для моделирования объектов произвольной геометрической формы использовались адаптированные к границе неструктурированные треугольные сетки.