RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Наносистемы: физика, химия, математика // Архив

Наносистемы: физика, химия, математика, 2023, том 14, выпуск 1, страницы 86–88 (Mi nano1165)

PHYSICS

Electrical properties of “metal-carbon film” contact

Rostyslav V. Shalayev, Anatoliy I. Izotov, Vladimir V. Syrotkin

Galkin Donetsk Institute for Physics and Engineering, Donetsk, Russia

Аннотация: Magnetron sputtering was used to obtain carbon films on of metal substrates of two types: titanium and tool chromium steel. The temperature dependence of the resistance of the films, which has a semiconductor character, has been studied. The current-voltage characteristics of the metal-carbon film contact were determined, which indicate the presence of the Schottky barrier junction.

Ключевые слова: carbon film, magnetron sputtering, metal-semiconductor contact, Schottky barrier.

Поступила в редакцию: 24.01.2023
Исправленный вариант: 02.02.2023
Принята в печать: 05.02.2023

Язык публикации: английский

DOI: 10.17586/2220-8054-2023-14-1-86-88



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024