RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Информатика, телекоммуникации и управление // Архив

Научно-технические ведомости СПбГПУ. Информатика. Телекоммуникации. Управление, 2015, выпуск 5(229), страницы 33–38 (Mi ntitu123)

Программное обеспечение вычислительных, телекоммуникационных и управляющих систем

Расчет функции рассеяния точки с учетом двулучепреломления и частичной когерентности освещения с использованием графических процессоров

Е. А. Никулина

Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики

Аннотация: Рассмотрено применение метода представления комплексной амплитуды через суперпозицию плоских волн для учета влияния двулучепреломления в фотолитографических системах. Изображение в проходящем свете при частично когерентном освещении проводится по методу интегрирования по источнику. Показана вычислительная сложность предложенной методики, а также отмечены преимущества использования графических процессоров для решения такого рода задач. Описаны особенности использования графических процессоров для решения неграфических задач. Приведены оценки временных затрат при расчете по описанной методике с применением как графических, так и традиционных процессоров. Показаны результаты моделирования функции рассеяния точки в различных условиях.

Ключевые слова: двулучепреломление, поляризация, функция рассеяния точки, параллельные вычисления, CUDA.

УДК: 681.7.055.4

DOI: 10.5862/JCSTCS.229.3



© МИАН, 2024