Выбор архитектуры и расчет параметров емкостного цифро-аналогового преобразователя для микромеханического акселерометра

Рассмотрена методика выбора архитектуры емкостного цифро-аналогового преобразователя (ЦАП), входящего в состав аналого-цифрового преобразователя (АЦП) последовательного приближения для интегральной схемы микромеханического акселерометра. При решении задачи выбора архитектуры емкостного ЦАП рассматривается подкласс бинарных архитектур по способу конфигурации единичных элементов в массиве ЦАП. Методика основана на анализе технологических, технических и топологических ограничений, а также на расчете параметров ЦАП. При расчете параметров учитывались ограничения по тепловому шуму, технологическому разбросу, правилам проектирования, а также ограничения по площади и быстродействию. Предлагаемая методика может использоваться на раннем этапе проектирования аналого-цифрового преобразователя последовательного приближения.