Аннотация:
Экспериментально обнаружены остаточные микронапряжения в монокристалле кремния с помощью рентгеноинтерферометрического метода маятниковых полос. Из рентгенограмм, полученных после лазерного облучения, оценены относительные деформации кристаллической решетки.