Минимизация суммарной глубины внутренних пилообразных рельефов двухслойной рельефно-фазовой дифракционной микроструктуры

Представлены результаты исследования возможности уменьшения суммарной глубины рельефов двухслойной микроструктуры, имеющей два внутренних пилообразных микрорельефа, обеспечивающих снижение зависимости дифракционной эффективности микроструктуры от длины волны излучения и угла падения излучения на микроструктуру. Эти результаты позволяют минимизировать трудоемкость получения в рамках электромагнитной теории дифракции оптимальных глубин микрорельефов в зависимости от требований, предъявляемых к дифракционному оптическому элементу. Оптимальные глубины обеспечат в заданных спектральном диапазоне и интервале углов падения излучения максимально возможное (для выбранной ширины самой узкой зоны пилообразного микрорельефа) значение дифракционной эффективности в точке ее минимума.