Аннотация:
Впервые представлено моделирование сенсора показателя преломления анализируемой жидкости в конфигурации Кречмана на основе наклонного отражательного интерферометра (ОИ) и исследованы его спектральные свойства. Принцип работы данного сенсора основан на эффекте инвертированного поверхностного плазмонного резонанса (ИППР). Чувствительной структурой является металл-диэлектрическое многослойное покрытие на основе никелевой тонкой пленки в сочетании с нечетвертьволновыми диэлектрическими слоями. Описано моделирование процесса изготовления ОИ при наклонном падении света. Приведены формулы для оценки чувствительности, спектральной ширины максимума отражения ИППР, а также параметра качества. Показано, что за счет высокой добротности данный тип сенсора может иметь очень большие параметры качества ($>$ 10$^{3}$).
Ключевые слова:отражательный интерферометр, полное внутреннее отражение, сенсор показателя преломления.
Поступила в редакцию: 15.09.2020 Исправленный вариант: 12.10.2020 Принята в печать: 14.10.2020