RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Оптика и спектроскопия // Архив

Оптика и спектроскопия, 2021, том 129, выпуск 1, страницы 33–40 (Mi os204)

Спектроскопия конденсированного состояния

Исследование температурной зависимости спектров оптических постоянных пленок Hg$_{1-x}$Cd$_{x}$Te, выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии

В. А. Швецab, Д. В. Маринb, М. В. Якушевb, С. В. Рыхлицкийb

a Новосибирский государственный университет
b Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск

Аннотация: На основе проведeнных in situ и ex situ эллипсометрических измерений найдены спектральные зависимости температурной чувствительности оптических постоянных Hg$_{1-x}$Cd$_{x}$Te – $dn(\lambda)$ и $dk(\lambda)$ для серии образцов разного состава в диапазоне от 0.160 до 0.327. Эксперименты были проведены в процессе остывания выращенных образцов в вакуумной камере. Установлено, что полученные зависимости $dn$ и $dk$ хорошо аппроксимируются суммой трeх осцилляторов Лоренца с добавлением дисперсионных слагаемых формулы Коши. Предложена параметрическая модель, которая описывает чувствительности $dn(\lambda)$ и $dk(\lambda)$ для произвольного состава $x$ в указанном диапазоне вблизи температуры роста. Проведенные ex situ температурные измерения вблизи комнатной температуры коррелируют с данными высокотемпературных измерений. Полученные результаты актуальны для разработки эллипсометрических методов контроля in situ процессов роста слоeв Hg$_{1-x}$Cd$_{x}$Te.

Ключевые слова: кадмий-ртуть-теллур, эллипсометрия, спектры оптических констант, температурная чувствительность, молекулярно-лучевая эпитаксия.

Поступила в редакцию: 05.08.2020
Исправленный вариант: 09.09.2020
Принята в печать: 17.09.2020

DOI: 10.21883/OS.2021.01.50436.213-20


 Англоязычная версия: Optics and Spectroscopy, 2021, 129:1, 29–36

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024