Параметрическая модель спектров оптических постоянных Hg$_{1-x}$Cd$_{x}$Te и определение состава соединения

Представлена параметрическая модель, описывающая спектры оптических постоянных $n(\lambda)$ и $k(\lambda)$ твердого раствора Hg$_{1-x}$Cd$_{х}$Te (КРТ) для значений $x$ в диапазоне от 0.2 до 0.4. Модель базируется на эмпирических данных, измеренных in situ в процессе эпитаксиального роста слоев твердого раствора. Рассмотрены варианты использования полученной модели для определения состава КРТ in situ в реальном времени. Предложена методика определения состава, основанная на спектральных эллипсометрических измерениях, которая обеспечивает погрешность не более $\delta x$ = $\pm$ 0.0035.