Морфология, структурные и оптические свойства наноструктур кремния, полученные в растворе, содержащем гексафторосиликат водорода H$_{2}$(SiF$_{6}$)

Исследован пористый кремний с наблюдаемой фотолюминесценцией с кристаллографической ориентацией (100), легированной бором, который был изготовлен на основе кремниевой подложки $p$-типа проводимости с использованием метода электрохимического травления в растворе, содержащем кремнефтористоводородную кислоту и этиловый спирт. Выполнен сравнительный анализ морфологии, структурных и оптических свойств кремниевых наноструктур, полученных в растворе, содержащем H$_{2}$(SiF$_{6}$) и этанол, и образцов, полученных в растворе, содержащем HF и этанол. Морфология, структурные и оптические свойства были изучены с использованием методов сканирующей зондовой микроскопии и спектрофотометрии. Показано, что образцы пористого кремния, полученные в растворе, содержащем H$_{2}$(SiF$_{6}$) и этанол, характеризуются улучшенными оптическими свойствами, в частности, обладают более интенсивной фотолюминесценцией по сравнению с образцами, полученными в растворах с HF и этиловый спирт.