Рентгенолюминесценция толстых пленок оксида цинка

Исследованы образцы толстых плёнок (порядка 30 $\mu$m) нелегированного оксида цинка на сапфире, полученных методом магнетронного напыления с использованием неохлаждаемой мишени. Были изучены структурные и люминесцентные свойства исходных плёнок и плёнок, прошедших дополнительный рекристаллизационный отжиг в воздушной атмосфере. Также рассмотрены временные и температурно-зависимые характеристики образцов. Показано, что отжиг в воздухе приводит к улучшению структурных, оптических и люминесцентных свойств полученной плёнки.