RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Оптика и спектроскопия // Архив

Оптика и спектроскопия, 2021, том 129, выпуск 10, страницы 1331–1335 (Mi os53)

Прикладная оптика

Индуцируемые напряжения, возникающие в кристаллическом кремнии при воздействии ультракоротких лазерных импульсов различной длительности в воздухе и воде

Н. А. Смирнов, С. И. Кудряшов, Н. Н. Мельник, П. М. Папилова, И. А. Шерстнев, А. А. Ионин, Ц. Чень

Физический институт им. П. Н. Лебедева Российской академии наук, г. Москва

Аннотация: Производилась модификация поверхности кремния в одноимпульсном режиме фемто-пикосекундными лазерными импульсами (0.3 и 10 ps) ближнего ИК диапазона (1030 nm) при абляции в воздухе и воде. Полученные структуры изучались с помощью микроскопии комбинационного рассеяния света. В ходе исследования установлено, что на границе кратера появляются нанокристаллиты размером 7–8 nm. Обнаружены локальные механические напряжения в центре кратера, знак которых зависит от приложенной плотности энергии. Наибольшие локальные сжимающие напряжения возникают в воде в субфиламентационном режиме при максимальных плотностях энергии.

Ключевые слова: кремний, спектроскопия комбинационного рассеяния света, ультракороткие импульсы, одноимпульсная абляция в воздухе и в жидкости, локальные напряжения.

Поступила в редакцию: 08.06.2021
Исправленный вариант: 23.06.2021
Принята в печать: 25.06.2021

DOI: 10.21883/OS.2021.10.51501.2399-21


 Англоязычная версия: Optics and Spectroscopy, 2022, 130:13, 2049–2052

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024