Моделирование фазовых сдвигов света в порядках дифракционных решеток интерференционного датчика линейных перемещений

Рассмотрены фазовые сдвиги света в порядках дифракционных решеток для интерференционного датчика линейных перемещений. Применение фазовой дифракционной решетки с заданными геометрическими параметрами поверхностного рельефа позволяет стабилизировать фазовые соотношения в оптических сигналах и в результате в итоговых сигналах, снимаемых с датчика перемещений. На основе данных математического моделирования предложены технически реализуемые параметры поверхностного рельефа дифракционных решеток для создания требуемых фазовых сдвигов между дифрагированными пучками и сигналами квадратурной модуляции и для достижения требуемой точности измерений с нанометрическим разрешением.