Безаберрационная ширина углового спектра зондирующего слоистый объект поля в конфокальной микроскопии

Теоретически и экспериментально исследован эффект влияния числовой апертуры зондирующего объект пучка света на измеряемую с помощью конфокального интерференционного микроскопа величину при определении толщины слоистого объекта, для случая существенного влияния на сигнал сферической аберрации, возникающей в зондирующем объект пучке при его прохождении через объект. Получена зависимость измеряемой величины от числовой апертуры с учетом влияния на сигнал сферической аберрации. Установлен критерий “безаберрационного” распространения зондирующего объект пучка и определено условие, при котором влиянием сферической аберрации на сигнал конфокального микроскопа можно пренебречь. Получено приближенное аналитическое выражение, позволяющее с учетом эмпирического корректирующего фактора определить “безаберрационную” ширину углового спектра зондирующего объект пучка света. Определены границы применимости аналитической зависимости измеряемой величины от числовой апертуры, которая получена ранее для случая пренебрежимо малого влияния сферической аберрации на сигнал конфокального микроскопа.