Н. Н. Новикова, В. А. Яковлев, С. А. Климин, Т. В. Малин, А. М. Гилинский, К. С. Журавлев, “Поверхностные поляритоны в пленках нитридов алюминия и галлия, легированных кремнием”, Оптика и спектроскопия, 2019, том 127, выпуск 1,страницы 42

Эта публикация цитируется в 2 статьях

Всероссийская научная конференции ''Современные проблемы оптики и спектроскопии'', Троицк, Москва, 28-29 ноября 2018 года
Спектроскопия конденсированного состояния

Поверхностные поляритоны в пленках нитридов алюминия и галлия, легированных кремнием

Н. Н. Новикова^a, В. А. Яковлев^a, С. А. Климин^a, Т. В. Малин^b, А. М. Гилинский^b, К. С. Журавлев^bc

^a Институт спектроскопии РАН, Москва, г. Троицк
^b Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
^c Новосибирский государственный университет

Аннотация: Измерены спектры отражения и спектры нарушенного полного внутреннего отражения сильно легированных кремнием пленок нитридов алюминия и галлия на сапфировых подложках с буферным слоем нитрида алюминия. В спектрах нарушенного полного внутреннего отражения наблюдались поверхностные фононные и плазмон-фононные поляритоны. Экспериментально наблюдалась высокая концентрация носителей в пленке нитрида галлия и их практическое отсутствие в пленке нитрида алюминия.

Ключевые слова: нитриды алюминия и галлия, спектры отражения, поверхностные поляритоны.

Поступила в редакцию: 25.02.2018
Исправленный вариант: 25.02.2018
Принята в печать: 15.03.2019

DOI: 10.21883/OS.2019.07.47929.84-19