И. Н. Спресов, “Моделирование процессов формирования твердотельных структур при воздействии ионных потоков”, ПФМТ, 2011, выпуск 2(7),страницы 43

ФИЗИКА

Моделирование процессов формирования твердотельных структур при воздействии ионных потоков

И. Н. Спресов

Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск

Аннотация: Предложены две модели процесса формирования микро- и наноструктур. Показаны различия между двумя моделями. На основании математических моделей исследованы различные формы и параметры материалов в процессе воздействия.

Ключевые слова: формирование тонкопленочных структур, электромагнитное воздействие плазмы.

УДК: 622.25.34

Поступила в редакцию: 19.04.2011