Zhu Peng, N. N. Fedosenko, D. G. Piliptsov, R. V. Bekarevich, “Study of the preparation CuO and boron films”, ПФМТ, 2010, выпуск 2(3),страницы 80

ТЕХНИКА

Study of the preparation CuO and boron films

[Изучение процесса формирования покрытий бора и оксида меди]

Zhu Peng^a, N. N. Fedosenko^b, D. G. Piliptsov^b, R. V. Bekarevich^b

^a Nanjing University of Science and Technology, Nanjing, China
^b F. Skorina Gomel State University, Gomel

Аннотация: В представленной статье рассматриваются покрытия бора и оксида меди, осажденные c помощью распыляющего ионного источника. Скорость осаждения покрытий варьировалась от 11 до 11.8 нм/мин. Морфология и состав исследовались с помощью атомно-силовой микроскопии и рентгеноструктурного анализа. Данные исследования показали, что борные покрытия имеют более однородную структуру по сравнению с покрытиями оксида меди.

Ключевые слова: атомно-силовая микроскопия, бор, распыляющий ионно-лучевой источник, процесс горячего изо-статического прессования, рентгеноструктурный анализ.

УДК: 546.26

Поступила в редакцию: 10.06.2010

Язык публикации: английский