Я. А. Косенок, В. Е. Гайшун, О. И. Тюленкова, В. Г. Денисман, “Водные композиции на основе наноразмерных частиц диоксида кремния для химико-механической полировки пластин монокристаллического кремния”, ПФМТ, 2014, выпуск 3(20),страницы 26

Эта публикация цитируется в 2 статьях

ФИЗИКА

Водные композиции на основе наноразмерных частиц диоксида кремния для химико-механической полировки пластин монокристаллического кремния

Я. А. Косенок^a, В. Е. Гайшун^a, О. И. Тюленкова^a, В. Г. Денисман^b

^a Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины, Гомель, Беларусь
^b Филиал «Камертон» ОАО «Интеграл», Пинск, Беларусь

Аннотация: Описывается методика приготовления суспензий на основе наноразмерных частиц пирогенного диоксида кремния. Исследуется процесс и приводятся результаты химико-механической полировки пластин монокристаллического кремния, проведенные в производственных условиях. Даются рекомендации по использованию полирующих композиций в процессе химико-механической полировки. При использовании полирующих суспензий СПС-81М и СПС-55М в процессе ХМП пластин монокристаллического кремния достигается высокое структурное совершенство и атомарная гладкость поверхности с шероховатостью на уровне десятых долей нанометра.

Ключевые слова: химико-механическое полирование, пирогенный диоксид кремния, наноразмерные частицы, поверхность, шероховатость.

УДК: 546.28

Поступила в редакцию: 25.07.2014