Аннотация:
В работе приведены данные по установлению влияния примеси $\mathrm{Nb}$, $\mathrm{La}$ и температуры отжига на структурные характеристики слоёв $\mathrm{SrBi_2(Ta_xMe_{1-x})_2O_9}$. В качестве методов исследования использовались атомно-силовая микроскопия и метод дифракции рентгеновских лучей.
Ключевые слова:золь-гель метод, сегнетоэлектрик, золь, термообработка, SBT-плёнка, перовскит, метод рентгеноструктурного анализа, метод атомно-силовой микроскопии.