Аннотация:
Рассматривается проблема многократных отражений света в призме связи при волноводной спектроскопии тонких пленок. В рамках двумерной лучевой модели сформулированы алгоритмы расчета траектории светового луча и отражательной способности треугольной призмы связи. Предложены и проиллюстрированы расчетами критерии оптимального выбора углов и оси вращения призмы связи, предполагающие стабилизацию точки ввода излучения в исследуемую слоистую среду и минимизацию влияния лучей высших порядков на отражательную способность призмы связи. Представлены примеры решения обратной задачи волноводной спектроскопии двухслойной структуры оксинитрида кремния на кремниевой подложке.
Ключевые слова:обратная задача волноводной спектроскопии, многократные отражения света в призме связи, оптимизация призмы связи.