Аннотация:
Представлены исследования восстановительного и кристаллизационного отжига на сегнетоэлектрические свойства SBTN-пленок при массовой концентрации ниобия 10–50 масс. %, полученных золь-гель методом. Проведено исследование влияния восстановительного отжига на содержание кислорода в сегнетоэлектрической плёнке SBTN с учетом массовой концентрации ниобия.
Ключевые слова:сегнетоэлектрики, энергонезависимая память, золь-гель метод, структура перовскита, кристаллизационный и восстановительный отжиг, конденсаторный слой, дефекты, остаточная поляризация, SBTN-пленка.