Влияние природы карбидообразующих металлов на фазовый состав и структуру легированных углеродных покрытий

Определены структурно-фазовые особенности осаждаемых из импульсной катодной плазмы углеродных покрытий, легированных титаном, хромом. Установлено, что при электродуговом испарении металлов в объеме аморфной углеродной матрицы формируются металлсодержащие образования со средним размером $40..90$ нм. Введение хрома в углеродную матрицу, приводит к росту содержания атомов углерода $\mathrm{sp}^3$ фазы, легирование же углеродного покрытия титаном способствует снижению количества атомов с $\mathrm{sp}^3$ гибридизацией, увеличению размера и упорядоченности $\mathrm{Csp}^2$ кластеров.