Визуализация дефектов отдельной компоненты составного дифракционного оптического элемента

Показана возможность визуализации дефектов отдельной компоненты тонкого составного дифракционного оптического элемента, представляющего композицию тонкой подложки и пары совмещенных элементарных решеток. Рассмотрены возможные варианты визуализации дефектов как подложки, так и отдельных элементарных решеток дифракционного оптического элемента с использованием различных интерференционных способов, хорошо развитых в голографической интерферометрии фазовых объектов. Приведены экспериментальные результаты.