Сегнетоэлектрические свойства пленок танталата стронция-висмута, нанесенных методом ВЧ магнетронного распыления

Исследованы характеристики сегнетоэлектрических тонких пленок танталата стронция-висмута (SBT), нанесенных методом ВЧ магнетронного распыления на Pt/TiO$_x$/SiO$_2$/Si подложки. Установлены зависимости диэлектрической проницаемости, остаточной поляризации и коэрцитивной силы пленок SBT от режимов последующего отжига. При температуре отжига $800^\circ$ C получены пленки с остаточной поляризацией $2P_r = 3,02$ мкКл/см$^2$, коэрцитивной силой $2E_c = 140$ кВ/см. Диэлектрическая проницаемость и тангенс угла диэлектрических потерь на частоте $1,0$ МГц составляли соответственно $\varepsilon = 125$ и $\mathrm{tg}\,\beta = 0,067$. Температура Кюри пленок достигала $310$–$315^\circ$ С.