Д. Г. Пилипцов, А. В. Рогачев, Н. Н. Федосенко, А. С. Руденков, “Морфология и механические свойства углеродных покрытий, полученных из плазмы импульсного катодно-дугового разряда сложной формы”, ПФМТ, 2012, выпуск 3(12),страницы 33

ФИЗИКА

Морфология и механические свойства углеродных покрытий, полученных из плазмы импульсного катодно-дугового разряда сложной формы

Д. Г. Пилипцов, А. В. Рогачев, Н. Н. Федосенко, А. С. Руденков

Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины, Гомель

Аннотация: Предложен вакуумно-плазменный метод формирования углеродных покрытий, основанный на использовании при генерации углеродной плазмы катодно-дугового разряда с заданной формой импульса. Определен характер влияния параметров разряда на скорость роста покрытий, их морфологию.

Ключевые слова: углеродные покрытия, импульсный катодно-дуговой разряд, морфология, скорость роста.

УДК: 621.793:678:544.777

Поступила в редакцию: 11.06.2012