Д. Г. Пилипцов, А. А. Рогачев, С. А. Чижик, А. С. Руденков, Е. А. Кулеш, А. А. Федосенко, “Фазовый состав и структура многослойных наноразмерных металл-углеродных покрытий”, ПФМТ, 2018, выпуск 2(35),страницы 34

ФИЗИКА

Фазовый состав и структура многослойных наноразмерных металл-углеродных покрытий

Д. Г. Пилипцов^a, А. А. Рогачев^a, С. А. Чижик^b, А. С. Руденков^a, Е. А. Кулеш^a, А. А. Федосенко^a

^a Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины
^b Институт тепло- и массообмена им. А.В. Лыкова НАН Беларуси, Минск

Аннотация: Методами КР спектроскопии и атомно-силовой микроскопии определено влияние подслоев различной природы на фазовый состав и морфологию однокомпонентных и композиционных углеродных покрытий. Показано, что при осаждении легированного титаном углеродного покрытия на подслое титана образуются более дисперсные Сsp$^2$ кластеры. При этом легированные углеродные покрытия характеризуются меньшими шероховатостью и размером зерна.

Ключевые слова: углеродные покрытия, легирование, титан, кластер, фазовый состав, морфология.

УДК: 669.14.018.8: 621.45.038.72

Поступила в редакцию: 27.03.2018