Морфология и фазовый состав легированных кремнием углерод-титановых покрытий

Рассмотрены морфологические особенности и фазовый состав углеродных покрытий, легированных кремнием и титаном. Показано, что легирование кремнием углерод-титановых покрытий приводит к снижению содержания sp$^2$-гибридизированных кластеров, свободных атомов графита за счет образования Si-C связей, росту шероховатости и некоторому улучшению гидрофобных свойств поверхности.