Морфология и фазовый состав наноструктурированных углеродных покрытий, cформированных на подслое, содержащем политетрафторэтилен и формиат свинца

Определены особенности морфологии, фазового состава углеродных покрытий, осажденных на подслои на основе политетрафторэтилена и формиата свинца различного состава. Установлено влияние массового соотношения компонентов исходной мишени, используемой для осаждения подслоя, и термообработки углеродных покрытий на их морфологию и фазовый состав. Оценена эффективность использования оксидов металлов и карбонизированных полимерных слоев для заданного изменения фазового состава, рельефа углеродных покрытий.