С. А. Хахомов, А. В. Семченко, В. В. Сидский, В. В. Васькевич, А. А. Маевский, О. И. Тюленкова, В. Е. Гайшун, Д. Л. Коваленко, О. В. Пахомов, А. В. Еськов, А. С. Старков, А. Л. Холкин, В. А. Пилипенко, “Влияние состава и условий золь-гель процесса на свойства сегнетоэлектрических тонких пленок титаната бария-стронция”, ПФМТ, 2021, выпуск 4(49),страницы 45

ФИЗИКА

Влияние состава и условий золь-гель процесса на свойства сегнетоэлектрических тонких пленок титаната бария-стронция

С. А. Хахомов^a, А. В. Семченко^a, В. В. Сидский^a, В. В. Васькевич^a, А. А. Маевский^a, О. И. Тюленкова^a, В. Е. Гайшун^a, Д. Л. Коваленко^a, О. В. Пахомов^b, А. В. Еськов^b, А. С. Старков^b, А. Л. Холкин^b, В. А. Пилипенко^c

^a Гомельский государственный университет имени Франциска Скорины
^b Университет ИТМО, Санкт-Петербург
^c ОАО «ИНТЕГРАЛ», Минск

Аннотация: Представлены результаты исследования влияния особенностей синтеза золь-гель методом, состава и термообработки на микроструктуру, топографию поверхности и сегнетоэлектрические свойства тонких золь-гель пленок Ba$_x$Sr$_{1-x}$TiO$_3$ ($x = 0,8; 0,9; 1$).

Ключевые слова: пленки BST, золь-гель метод, сегнетоэлектрики, гидролиз, поликонденсация, отжиг, сегнетоэлектрические свойства.

УДК: 537.9

Поступила в редакцию: 22.10.2021

DOI: 10.54341/20778708_2021_4_49_45