Электрофизические свойства диэлектрических золь-гель покрытий на основе диоксида кремния

Определены составы и приготовлена серия пленкообразующих растворов для исследования влияния концентрации метилтриэтоксисилана в растворах на основе тетраэтилортосиликата на электрофизические свойства. Экспериментальным путем подобраны оптимальные режимы нанесения и термообработки пленкообразующих растворов для синтеза диэлектрических золь-гель покрытий. Проведены исследования вязкости полученных растворов с использованием капиллярного вискозиметра. Для анализа толщины и однородности структуры полученных материалов проведены исследования сколов с использованием растрового электронного микроскопа. Установлены вольт-фарадные и вольт-амперные зависимости и произведены расчеты диэлектрической проницаемости, величины сдвига напряжения плоских зон и емкости плоских зон.