RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Проблемы физики, математики и техники // Архив

ПФМТ, 2022, выпуск 2(51), страницы 26–30 (Mi pfmt839)

ФИЗИКА

Оптимизация лазерной полировки кварцевого стекла с использованием метода планирования вычислительных экспериментов

В. А. Емельяновa, Е. Б. Шершневb, Ю. В. Никитюкb, С. И. Соколовb, И. Ю. Аушевc

a ОАО «Интеграл», Минск
b Гомельский государственный университет имени Франциска Скорины
c Университет гражданской защиты МЧС Республики Беларусь, Минск

Аннотация: В данной работе с использованием метода полного факторного эксперимента и метода перебора параметров выполнена оптимизация процесса лазерной полировки кварцевого стекла. В результате конечно-элементного моделирования определены режимы лазерной полировки кварцевого стекла с использованием CO$_2$-лазера, обеспечивающие заданные значения температуры в зоне обработки при минимальных значениях термоупругих напряжений в кварцевых пластинах.

Ключевые слова: лазерная полировка, кварцевая пластина, ANSYS.

УДК: 539.3:621.373.8

Поступила в редакцию: 04.05.2022

DOI: 10.54341/20778708_2022_2_51_26



© МИАН, 2024