RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Проблемы физики, математики и техники // Архив

ПФМТ, 2022, выпуск 3(52), страницы 42–47 (Mi pfmt856)

Эта публикация цитируется в 2 статьях

ФИЗИКА

Исследование влияния электрических параметров импульсного источника питания СВЧ магнетрона на режимы генерации плазмы СВЧ разряда

О. И. Тихонa, С. И. Мадвейкоa, С. И. Бордусов

a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск

Аннотация: Изучено влияние электрических режимов управляемого импульсного инверторного источника электропитания СВЧ магнетрона на условия генерации плазмы СВЧ разряда большого объёма (около 9000 см$^3$) в крупногабаритной камере СВЧ плазмотрона резонаторного типа. Исследовано влияние параметров анодного тока в цепи электропитания СВЧ магнетрона на оптические характеристики СВЧ разряда. Проведен сравнительный анализ оптических характеристик формируемого в импульсном и непрерывном режиме генерации СВЧ разряда в зависимости от выходной мощности источника электропитания СВЧ магнетрона. Установлено, что уменьшение скважности между пачками импульсов анодного тока и последующий переход к постоянному режиму приводит к непропорциональному увеличению энерговклада в плазму СВЧ разряда.

Ключевые слова: СВЧ разряд, СВЧ магнетрон, непрерывный режим работы, оптическое свечение плазмы.

УДК: 533.9.082.76

Поступила в редакцию: 30.06.2022

DOI: 10.54341/20778708_2022_3_52_42



© МИАН, 2024