RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Проблемы физики, математики и техники // Архив

ПФМТ, 2024, выпуск 1(58), страницы 79–85 (Mi pfmt954)

ТЕХНИКА

Интегральная схема считывания данных с неохлаждаемых тепловых детекторов болометрического типа

Чан Ван Чиеу, Дао Динь Ха, П. Э. Новиков, К. В. Корсак, И. Ю. Ловшенко, В. Р. Стемпицкий

Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск

Аннотация: Важной задачей в области проектирования сенсорных устройств, в т. ч. в области термографии, является разработка систем, обеспечивающих точную обработку входных данных, а также их преобразование в цифровой сигнал. Представлены результаты применения реализованной на языке описания аппаратуры Verilog-A обобщенной электрической (компактной) модели неохлаждаемого теплового детектора болометрического типа (микроболометр), учитывающей особенности конструкции и используемых для его изготовления материалов, при проектировании схемотехнического и топологического решений интегральной схемы считывания данных с матрицы детекторов, расположенных в фокальной плоскости, с использованием библиотеки проектирования TSMC 0,18 мкм.

Ключевые слова: неохлаждаемый тепловой детектор болометрического типа, микроболометр, инфракрасный детектор, оксид ванадия, матрица в фокальной плоскости, интегральная схема считывания, моделирование.

УДК: 621.384.3

Поступила в редакцию: 16.01.2024

DOI: 10.54341/20778708_2024_1_58_79



© МИАН, 2024