Аннотация:
Важной задачей в области проектирования сенсорных устройств, в т. ч. в области термографии, является
разработка систем, обеспечивающих точную обработку входных данных, а также их преобразование в цифровой
сигнал. Представлены результаты применения реализованной на языке описания аппаратуры Verilog-A обобщенной
электрической (компактной) модели неохлаждаемого теплового детектора болометрического типа (микроболометр),
учитывающей особенности конструкции и используемых для его изготовления материалов, при проектировании
схемотехнического и топологического решений интегральной схемы считывания данных с матрицы детекторов,
расположенных в фокальной плоскости, с использованием библиотеки проектирования TSMC 0,18 мкм.
Ключевые слова:неохлаждаемый тепловой детектор болометрического типа, микроболометр, инфракрасный детектор, оксид ванадия, матрица в фокальной плоскости, интегральная схема считывания, моделирование.