Дата рождения:
27.04.1989
Ключевые слова: математическое моделирование,
внедрение частиц,
нагрев,
диффузия,
напряжения,
деформации,
время релаксации.
Основные темы научной работы:
Математическое моделирование начальной стадии процесса взаимодействия потока частиц с поверхностью мишени
Основные публикации:
Е.С. Парфенова, “Математическое моделирование начальной стадии процесса ионной имплантации”, Изв. Вузов. Физика, 58:6/2 (2015), 226-230
В.Н. Демидов, А.Г. Князева , Е.С. Ильина, “Особенности моделирования диффузионных процессов в упругом теле при его поверхностной модификации частицами”, Вестник ПНИПУ. Механика, 2012, № 3, 25-49
E.S. Parfenova, “The Mathematical Modeling of the Initial Stage of Ion Implantation into the Target with Coating”, Key Engineering Materials, 743 (2017), 138-141
