| Дедкова Анна Александровна
|
Дата рождения:
27.08.1989
Телефон: +7 (499) 720 69 07, +7 (963) 604 71 82
E-mail:
Сайт: http://ckp-miet.ru/
Ключевые слова: поверхность,
рельеф,
кривизна,
радиус кривизны,
прогиб,
механические напряжения,
деформация,
кремниевая пластина,
оптическая профилометрия,
дефектность,
геоморфометрия,
цифровая модель рельефа,
эллипсометрия.
Основные темы научной работы: МЭМС, анализ механических напряжений, приложения оптических методов исследования
Основные публикации:
-
Дедкова А.А., Дюжев Н.А., Гусев Е.Э., Штерн М.Ю., “Оперативная неразрушающая методика анализа прогиба мембран, расположенных на пластине”, Дефектоскопия, 5 (2020), 52-59
-
Дедкова А.А., Никифоров М.О., Митько С.В., Киреев В.Ю., “Исследования островковых пленок нитрида галлия на сапфировых подложках методами растровой электронной микроскопии и спектральной эллипсометрии”, Российские нанотехнологии, 14:3-4 (2019), 93-100
-
Новак А.В., Новак В.Р., Дедкова А.А., Гусев Е.Э., “Зависимость механических напряжений в пленках нитрида кремния от режимов плазмохимического осаждения”, Известия вузов. Электроника, 22:2 (2017), 138-146
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
© , 2024
