Физико-химические основы технологии полупроводников : пучковые и плазменные процессы в планарной технологии : учеб. пос. / А. В. Бобыль, С. Ф. Карманенко ; СПб. гос. политехн. ун-т. - Санкт-Петербург : Изд-во Политехн. ун-та, 2005 (СПб. : Изд-во Политехн. ун-т). - 113, [1] с. : ил., табл.; 20 см.; ISBN 5-7422-0813-8
