Ключевые слова: нанопленка, подложка, взаимодиффузия, имплантация, гетероструктура, термообработка, силициды, монослой, фотоэлектроны

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

Персональные страницы:

• 

Организации:

• Институт ионно-плазменных и лазерных технологий АН РУз, г. Ташкент, Академгородок
• Университет экономики и педагогики, Узбекистан