Краткие сообщения

Исследование сколотой поверхности кремния методами СВЧ и оптического отражения

А. Н. Белоконов, А. А. Галаев, В. А. Миляев, В. А. Никитин, Ю. Н. Пархоменко, А. В. Ширков