Влияние пластической деформации на состояние кислорода и углерода в кремнии

В монокристаллах кремния обнаружено явление перехода всего оптически активного кислорода в оптически неактивное состояние в процессе пластической деформации Si. Эффект наблюдается в условиях всестороннего сжатия 70 кбар при действии напряжения сдвига 2.5 кбар и ${T=500\div900^{\circ}}$С в течение 1$-$5 мин с образованием кислородом нового центра. При понижении давления пластической деформации часть кислорода сохраняется в оптически активной форме. В этих же условиях происходит уменьшение концентрации оптически активного углерода. Отжиг деформированных образцов в вакууме в кварцевой ампуле при ${1100\div1150^{\circ}}$С в течение 1$-$5 мин полностью восстанавливает концентрацию оптически активного кислорода и не влияет на состояние углерода. Предполагается, что в образовании кислородом новых центров принимают участие междоузельные атомы Si и вакансии, которые могут создаваться в процессе неконсервативного движения дислокаций при больших напряжениях сдвига.