Непереориентируемые дивакансии в кремнии, облученном нейтронами

Методом ЭПР исследовался сильно легированный кремний $n$-типа [содержание фосфора ${N_{\text{P}}=(2\div 10)\cdot10^{18}\,\text{см}^{-3}}$], облученный реакторными нейтронами в интервале доз ${5\cdot10^{17}\div4\cdot10^{19}\,\text{см}^{-2}}$. Наряду со спектрами известных центров $G7$ (дивакансии) и $P3$ (тетравакансии) в исследуемых образцах наблюдались два новых спектра, обозначенные $H9$ и $H10$. Определены параметры спинового гамильтониана обнаруженных спектров. Согласно полученным результатам, спектр $H9$ обусловлен непереориентируемыми дивакансиями, расположенными в областях больших деформаций решетки (ОВД), создаваемых разупорядоченными областями. По оценкам, величина деформации в ОВД составляет ${\varepsilon\gtrsim10^{-3}}$. Предполагается, что $H10$ представляет собой дефект вакансионного типа с парамагнитным электроном, локализованным на оборванной связи атома кремния. Обнаружены особенности наблюдения спектров $P3$ и $P6$ в сильно легированном кремнии $n$-типа, свидетельствующие о зависимости проявления этих центров от положения уровня Ферми.