Аннотация:
В растровом электронном микроскопе исследована кинетика локальной катодолюминесценции эпитаксиальных слоев фосфида галлия, легированных азотом и теллуром, при различных уровнях возбуждения и различных температурах и выявлен сложный характер протекания кинетических процессов. Обнаружены одинаковый характер кинетики катодолюминесценции газофазных и
жидкофазного образцов при 300 K и существенное различие в кинетике и ее зависимости от уровня возбуждения при 170 K. Предложены механизмы, объясняющие сложный характер кинетики катодолюминесценции исследуемых образцов, основанные на теории многозарядных центров и центров прилипания, сделаны предположения о природе этих центров.
Показано, что характер кинетики катодолюминесценции в исследованных образцах определяется только центрами безызлучательной рекомбинации и центрами прилипания, не связанными с оптически активным азотом.
УДК:
621.315.592
Поступила в редакцию: 05.04.1983 Принята в печать: 06.09.1983