Физика и техника полупроводников,
1989, том 23, выпуск 1,страницы 79–84(Mi phts3189)
Механизмы излучательной рекомбинации в ядерно легированном арсениде
галлия
В. А. Быковский, В. А. Гирий, Ф. П. Коршунов, В. И. Утенко
Аннотация:
Исследовалась фотолюминесценция (ФЛ) монокристаллов и эпитаксиальных слоев
арсенида галлия, легированного методом ядерных реакций при облучении тепловыми
нейтронами.
Анализ спектров ФЛ в процессе отжига слабо легированных материалов
(${n<1\cdot10^{17}\,\text{см}^{-3}}$)
показал, что рекомбинация обусловлена межзонными и межпримесными переходами с
участием остаточных акцепторов углерода и образовавшихся при ядерных
трансмутациях акцепторов германия. В сильно легированных материалах
(${n>5\cdot10^{17}\,\text{см}^{-3}}$) наблюдается сдвиг
краевой полосы ФЛ в высокоэнергетическую сторону при отжиге, что связывается с
переходами на перестраивающуюся полосу акцепторных состояний. Установлено, что
часть атомов
германия, образовавшихся при ядерных трансмутациях, замещает атомы мышьяка и
проявляет свойства акцепторов. Остаточные технологические акцепторы углерода
способны к взаимодействию с радиационными дефектами.