Синтез наночастиц карбида кремния методом лазерного пиролиза смеси моносилана и ацетилена

Определены условия лазерно-стимулированной реакции синтеза наночастиц карбида кремния и проведена их характеризация. Реакция лазерного синтеза частиц SiC в газовой фазе наблюдалась при соотношении потоков SiH$_{4}$/C$_{2}$H$_{2}$ в интервале 1.6–3.2. Температура в области зоны реакции составила $\sim$1400–1500$^\circ$C. Получены наночастицы карбида кремния диаметром $\sim$6 нм и исследован их состав.