Эта публикация цитируется в
1 статье
Физика полупроводниковых приборов
Влияние морфологии поверхности микрополосковой линии СВЧ на ее передаточные характеристики
Н. А. Торховabcd,
А. А. Коколовbe,
Л. И. Бабакb a Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов, Томск
b Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
c Томский государственный университет
d Севастопольский государственный университет
e Институт оптики атмосферы СО РАН, г. Томск
Аннотация:
Определены основные морфологические параметры 50-омных Au/
$i$-GaAs
$\{100\}$ тонкопленочных микрополосковых золотых СВЧ копланарных линий передач длиной
$l_{W}$, влияющие на активное сопротивление их скин-слоя
$R$ и индуктивность
$L$. Получено, что латеральный характер распределения зерен и развитый рельеф их поверхностей приводит к возникновению дополнительных процессов рассеяния электронов как на границах зерен, так и на неоднородностях рельефа. Малый размер зерен,
$d_{x}<$ 133 нм, на частотах
$f>$10 ГГц переводит аномальный скин-эффект в нормальный. При этом нелинейная зависимость
$R$ от
$l_{W}$ в локальном приближении обеспечивается фрактальной геометрией рельефа поверхности и приповерхностной области копланарных линий передач, а нелинейная зависимость индуктивности
$L$ от
$l_{W}$ – не только фрактальными особенностями рельефа двухмерной поверхности копланарных линий передач, но и фрактальными особенностями трехмерного распределения ее зерен.
Ключевые слова:
СВЧ линии, скин-эффект, морфология поверхности, фракталы, размерность Хаусдорфа–Безиковича,
$S$-параметры рассеяния, компактная модель, экстракция параметров.
Поступила в редакцию: 26.04.2020
Исправленный вариант: 18.05.2020
Принята в печать: 28.05.2020
DOI:
10.21883/FTP.2020.11.50095.9416