Температурная зависимость потерь в механическом резонаторе, изготовленном методом прямого сращивания кремниевых пластин

Охлаждение устройств, изготовленных из монокристаллического кремния, до температуры 123 K, при которой значение его коэффициента теплового расширения проходит через нуль, позволяет повысить их стабильность и снизить шумы. В диапазоне температур (100–295 K) исследованы температурные зависимости потерь (затухания) и изменения резонансной частоты в механическом резонаторе камертонного типа, изготовленном из кремниевых полосок и соединенных методом прямого сращивания. Это позволяет неразрушающим образом контролировать качество соединения, а также выявить особенности поведения и изменения, происходящие на границе раздела с течением времени.