Аннотация:
Исследованы оптические свойства высокоомного кремния, облученного тяжелыми ионами высоких энергий. В спектрах фотолюминесценции при низких температурах, помимо известных линий от X, W, W', R и C линий, проявляется широкий пик в области 1.3–1.5 мкм. При этом с увеличением дозы облучения в диапазоне 3$\cdot$10$^{11}$–10$^{13}$ см$^{-2}$ наблюдается спад и сужение пика ФЛ с одновременным смещением максимума в длинноволновую область.
Ключевые слова:фотолюминесценция, дефекты в кремнии, быстрые тяжелые ионы.
Поступила в редакцию: 16.04.2019 Исправленный вариант: 15.05.2019 Принята в печать: 17.06.2019