RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2019, том 53, выпуск 7, страницы 1006–1009 (Mi phts5469)

Эта публикация цитируется в 6 статьях

Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур

Cвойства полуполярного GaN, выращенного на подложке Si(100)

В. Н. Бессоловa, Е. В. Коненковаa, Т. А. Орловаa, С. Н. Родинa, Н. В. Середоваa, А. В. Соломниковаb, М. П. Щегловa, Д. С. Кибаловc, В. К. Смирновc

a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина)
c ООО "Квантовый кремний", Москва, Россия

Аннотация: Представлены результаты исследований полуполярных слоев GaN, синтезированных на наноструктурированной подложке Si(100). Показано, что применение нанорельефа Si(100) в сочетании с нанополосками Si$_{x}$N$_{y}$ на вершинах наноструктур при газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений может приводить к формированию слоев GaN(10$\bar1$2), а дополнительное использование буферного слоя SiC позволяет получить слои GaN(10$\bar1$1) c полушириной кривой дифракции $\omega_\theta\approx$ 35'. Обнаружено, что люминесцентные свойства полуполярных слоев обусловлены преимущественно дефектами упаковки BSF$_{S}$-I$_{1}$ (basal plane stacking faults), в отличие полярных слоев, где в основном они обусловлены рекомбинацией экситонов.

Ключевые слова: полуполярный нитрид галлия, фотолюминесценция, газофазная эпитаксия.

Поступила в редакцию: 17.12.2018
Исправленный вариант: 22.12.2018
Принята в печать: 25.12.2018

DOI: 10.21883/FTP.2019.07.47881.9049


 Англоязычная версия: Semiconductors, 2019, 53:7, 989–992

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024