RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2019, том 53, выпуск 7, страницы 1010–1016 (Mi phts5470)

Эта публикация цитируется в 2 статьях

Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур

Исследование влияния переходного слоя нанопористого кремния на атомное и электронное строение, а также оптические свойства гетероструктур A$^{\mathrm{III}}$N/por-Si, выращенных методом плазменно-активированной молекулярно-пучковой эпитаксии

П. В. Серединab, А. С. Леньшинa, Д. С. Золотухинa, Д. Л. Голощаповa, А. М. Мизеровc, И. Н. Арсентьевd, А. Н. Бельтюковe

a Воронежский государственный университет
b Уральский федеральный университет им. первого Президента России Б. Н. Ельцина, г. Екатеринбург
c Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
d Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
e Удмуртский федеральный исследовательский центр Уральского отделения Российской академии наук, г. Ижевск

Аннотация: Показано влияние использования переходного нанопористого подслоя кремния por-Si на морфологические, физические и структурные свойства наноколончатых структур In$_{x}$Ga$_{1-x}$N, полученных методом плазменно-активированной молекулярно-пучковой эпитаксии на монокристаллических Si(111) подложках. Комплексом структурно-спектроскопических методов анализа изучено электронное строение выращенных гетероструктур, морфология и оптические свойства, а также установлены взаимосвязи между ними. Показано, что использование подслоя por-Si позволяет получить более однородное распределение диаметров наноколонн In$_{x}$Ga$_{1-x}$N, равно как увеличить интенсивность фотолюминесценции последних.

Ключевые слова: нитрид галлия, кремниевая технология, фотолюминесценция, нуклеация, плазменно-активированная молекулярно-пучковая эпитаксия.

Поступила в редакцию: 12.02.2019
Исправленный вариант: 26.02.2019
Принята в печать: 26.02.2019

DOI: 10.21883/FTP.2019.07.47882.9084


 Англоязычная версия: Semiconductors, 2019, 53:7, 993–999

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024